V této kapitole je pozornost věnována výrobě křemíkových waferů. Je zde uveden postup výroby od křemenného písku až po finální křemíkovou desku určenou pro výrobu polovodičových čipů. Jsou zde detailně popsány jednotlivé úkony během výrobního procesu a parametry, které ovlivňují výslednou kvalitu křemíkového waferu.
