• Vysvětlete, co je to mikrosystém.
  • Vysvětlete, co znamená zkratka MEMS.
  • Jaké se využívají výrobní technologie pro výrobu MEMS?
  • Jaké mechanické prvky lze u MEMS realizovat?
  • Vysvětlete princip objemového mikroobrábění.
  • Jaký je rozdíl mezi izotropním a anizotropním leptáním?
  • Na jakém principu funguje suché leptání?
  • Vysvětlete princip povrchového mikroobrábění.
  • Vysvětlete princip MEMS akcelerometru.
  • Vysvětlete princip MEMS gyroskopu.
  • Vysvětlete princip MEMS tlakového senzoru.
  • Vysvětlete, co je BioMEMS a MOEMS.
  • Jakým způsobem se MEMS systémy pouzdří?

Last modified: Monday, 6 December 2021, 2:12 PM