Použitá a doporučená literatura
Požadavky na absolvování
- Yoshio Nishi. Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology. CRC Press, 2008. ISBN 978-157444-675-3.
- Kasap, S. O. Principles of electronic materials and devices. 3rd ed. Boston : McGraw-Hill, 2006. ISBN 0-07-124458-1.
- Schroder, Dieter K. Semiconductor material and device characterization. 3rd ed. Hoboken : John Wiley & Sons, 2006. ISBN 0-471-73906-5.
- Ivan Hüttel. Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku. VŠCHT Praha, 2000. ISBN 8070803878.
- Drápala Jaromír. Materiály pro elektrotechniku. VŠB Ostrava, 2013.
- Sze, S. M.; Ng, Kwok K. Physics of semiconductor devices. 3th ed. Hoboken : Wiley-Interscience, 2007. ISBN 978-0-471-14323-9.
- Jankulár Tomáš. Sledování fyzikálních veličin v polovodičových materiálech. VUT Brno, 2011.
- Šeliga Ladislav. Diagnostika vlastností polovodičových materiálů. VUT Brno, 2012.
- Musálek Tomáš. Příprava nanostruktur pomocí mokrého chemického leptání. VUT Brno, 2014.
- Pánek Petr; Válek Lukáš; Lorenc Michal; Šik Jan. Fyzikální principy technologie výroby polovodičů. Masarykova univerita, Brno, 2013.
- Internetové zdroje
Naposledy změněno: pondělí, 14. února 2022, 16.10